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高純石墨&碳纖維制品
所屬分類:
半導體應用
概要:
高純石墨及碳纖維制品,經過青島高泰的特殊純化工藝處理,純度高,適用于半導體晶體生長。
- 產品描述
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- 商品名稱: 高純石墨&碳纖維制品
高純石墨及碳纖維制品,經過青島高泰的特殊純化工藝處理,純度高,適用于半導體晶體生長。
介紹
高純石墨及碳纖維制品,經過青島高泰的特殊純化工藝處理,純度高,適用于半導體晶體生長。
優勢
● 純度高
● 性能穩定
應用
● 碳化硅(SiC)單晶生長部件
● 碳化硅外延生長部件
● MOCVD 部件
● 高溫部件
性能
● 石墨制品、石墨粉: 灰分不高于 5ppm
● 石墨硬氈/軟氈/碳碳: 灰分不高于 20ppm
● 可針對不利于晶體生長的某些元素進行特別處理
關鍵詞:
高純石墨&碳纖維制品
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